-
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زوند ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن كېرامىكا زاپچاسلىرى
سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىشۇرۇش، ئاندىن ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە سىلىقلاش ئارقىلىق شەكىللەنگەن كېرامىكا زاپچاسلىرى ئۇپراشقا چىداملىق، چىرىشكە چىداملىق، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە ئىسسىقلىق ساقلاش قاتارلىق ئالاھىدىلىكلىرى بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر قانداق قاتتىق تەلىپىگە جاۋاب بېرەلەيدۇ. كېرامىكا نۇرغۇن خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە يۇقىرى تېمپېراتۇرا، ۋاكۇئۇم ياكى چىرىش گازى شارائىتىدا ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىيەلەيدۇ.
يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن پاراشوكىدىن ياسالغان، سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىرىسلاش ۋە ئېنىق پىششىقلاش ئارقىلىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن بولۇپ، ئۆلچىمى ±0.001 مىللىمېتىرغىچە بولغان چىدامچانلىققا، يۈزەكى رەڭگى Ra 0.1 گە، تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى 1600℃ غا يېتىدۇ.
-
كېرامىك تاختا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى توشۇغۇچى
سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىشۇرۇش، ئاندىن ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە سىلىقلاش ئارقىلىق شەكىللەنگەن كېرامىكا زاپچاسلىرى ئۇپراشقا چىداملىق، چىرىشكە چىداملىق، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە ئىسسىقلىق ساقلاش قاتارلىق ئالاھىدىلىكلىرى بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر قانداق قاتتىق تەلىپىگە جاۋاب بېرەلەيدۇ. كېرامىكا نۇرغۇن خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە يۇقىرى تېمپېراتۇرا، ۋاكۇئۇم ياكى چىرىش گازى شارائىتىدا ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىيەلەيدۇ.
يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن پاراشوكىدىن ياسالغان، سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىرىسلاش ۋە ئېنىق پىششىقلاش ئارقىلىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن بولۇپ، ئۆلچىمى ±0.001 مىللىمېتىرغىچە بولغان چىدامچانلىققا، يۈزەكى رەڭگى Ra 0.1 گە، تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى 1600℃ غا يېتىدۇ.
-
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى كېرامىك زاپچاسلار
سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىشۇرۇش، ئاندىن ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە سىلىقلاش ئارقىلىق شەكىللەنگەن كېرامىكا زاپچاسلىرى ئۇپراشقا چىداملىق، چىرىشكە چىداملىق، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە ئىسسىقلىق ساقلاش قاتارلىق ئالاھىدىلىكلىرى بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر قانداق قاتتىق تەلىپىگە جاۋاب بېرەلەيدۇ. كېرامىكا نۇرغۇن خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە يۇقىرى تېمپېراتۇرا، ۋاكۇئۇم ياكى چىرىش گازى شارائىتىدا ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىيەلەيدۇ.
يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن پاراشوكىدىن ياسالغان، سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىرىسلاش ۋە ئېنىق پىششىقلاش ئارقىلىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن بولۇپ، ئۆلچىمى ±0.001 مىللىمېتىرغىچە بولغان چىدامچانلىققا، يۈزەكى رەڭگى Ra 0.1 گە، تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى 1600℃ غا يېتىدۇ.
-
يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق كامېرانى پېچەتلەش ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن كېرامىك مۆھۈر ھالقىسى
St.Cera نىڭ كېرامىك مۇھاپىزەت ئۈزۈكى ئېلاستومېرلارنىڭ پارچىلىنىدىغان ئېغىر مۇھىتلاردا پولىمېر O-ھالقىنىڭ ئورنىنى ئالىدىغان قىلىپ لايىھەلەنگەن. %99.8 يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن (Al₂O₃) دىن ئىشلەپچىقىرىلغان بۇ قاتتىق مۇھاپىزەت ئۈزۈكى، ئادەتتە يۇمشاق مېتال ياكى گرافىت قىستۇرمىسى بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ، 800 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان تېمپېراتۇرىدا ۋە ئاكتىپ پلازما ياكى خىمىيىلىك مۇھىتتا ئىشەنچلىك ۋاكۇئۇم ياكى گازنى ساقلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. بۇ ماتېرىيال نۆل گاز چىقىرىش، يۇقىرى بېسىم كۈچى (ئاساسىي ئېگىلىش كۈچى 361 MPa) ۋە خىمىيىلىك ئىنېرتلىق (HF دىن باشقا گالوگېن، كىسلاتا ۋە ئىشقارلارغا چىداملىق) بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئېنىق چاپلانغان مۇھاپىزەت يۈزى (تەكشىلىكى ≤5 μm، يۈزىنىڭ نازۇكلىقى Ra ≤0.2 μm) بىرلەشتۈرۈلگەن مېتال ياكى كېرامىك زاپچاسلار بىلەن سۇنىڭ ئۆتۈشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
-
پلازما ئوراپ ئىشلەش ۋە يۈرەك-قان تومۇر سىستېمىسى ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن كامېرىسى فوكۇس ھالقىسى
St.Cera نىڭ كامېرا فوكۇس ھالقىسى پلازما ئويۇش، CVD ۋە PVD يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىدە ئىشلىتىلىدىغان مۇھىم بىر جەريان زاپچاسلىرىنىڭ بىرى. %99.8 يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن (Al₂O₃) دىن ئىشلەپچىقىرىلغان بۇ ھالقىسى پلازما چېتىنى ئوراپ، پلازمانى چەكلەيدۇ ۋە ئىئون بۇلۇڭلۇق تەقسىملىنىشىنى ئەلالاشتۇرىدۇ، شۇنىڭ بىلەن پلازما يۈزىدە ئويۇشنىڭ بىردەكلىكىنى ياخشىلايدۇ. بۇ ماتېرىيال ئالاھىدە پلازما قارشىلىقى، يۇقىرى دىئېلېكترىك كۈچلۈكلۈكى (15 × 10⁶ V/m) ۋە 1600 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان ئىسسىقلىق مۇقىملىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئاكتىپ فتور ياكى خلور ئاساسلىق پلازما مۇھىتىدا ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىكنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. ئېنىق يەر ID/OD ۋە تۈزلۈك (≤10 μm) پلازما چېتىنى توغرا ئورۇنلاشتۇرۇشنى، چېت كەمتۈكلۈكلىرى ۋە زەررىچە ھاسىل بولۇشىنى ئازايتىشنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ.
-
CVD / PVD پىششىقلاش كامېراسى ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن كېرامىك ھالقىسى
St.Cera نىڭ كېرامىك ھالقىسى CVD (خىمىيىلىك پار چۆكمىسى) ۋە PVD (فىزىكىلىق پار چۆكمىسى) پىششىقلاش كامېرالىرىدا ئىشلىتىش ئۈچۈن مەخسۇس لايىھەلەنگەن. %99.8 يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن (Al₂O₃) دىن ئىشلەپچىقىرىلغان بۇ ھالقىسى، پلازما بىلەن چەكلىنىپ، كامېرا تاملىرىنىڭ ئېروزىيەدىن ساقلىنىشى ئۈچۈن كامېرا ئاستى قەۋىتى، مەركەزلەشتۈرۈش ھالقىسى ياكى پىششىقلاش زاپچاسلىرى تەركىبىي قىسمى سۈپىتىدە خىزمەت قىلىدۇ. بۇ ماتېرىيال ئېسىل پلازما قارشىلىقى، يۇقىرى دىئېلېكترىك كۈچلۈكلۈك (15 × 10⁶ V/m) ۋە 1600 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان ئىسسىقلىق مۇقىملىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئاكتىپ فتور ئاساسلىق پلازما مۇھىتىدا ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. ئېنىق ئۆلچەمدىكى بەرداشلىق بېرىش (ID/OD دا ± 0.05 مىللىمېتىر) ۋە تۈزلۈك (≤10 μm) ۋافتا گىرۋىكىنىڭ مۇقىم ئورنىنى ساقلاپ، چۆكمىنىڭ بىردەكلىكىنى ياخشىلايدۇ ۋە زەررىچە ھاسىل بولۇشىنى ئازايتىدۇ.
-
بېرنوللى كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورى — نېپىز ۋە نازۇك ۋافلىلارنى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن ئالاقىسىز ۋافلى بىر تەرەپ قىلىش
St.Cera نىڭ بېرنوللى كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورى فىزىكىلىق تېگىشسىز ۋافلىلارنى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن ئايرودىنامىك كۆتۈرۈش ئىقتىدارىدىن پايدىلىنىدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى %99.8 ئاليۇمىن (Al₂O₃) ياكى كرېمنىي كاربىد (SiC) دىن ئىشلەپچىقىرىلغان بولۇپ، ئۇ يۇقىرى ئۈنۈملۈك گاز چىقىرىپ، ئۇچى ئېففېكتور بىلەن ۋافلى ئوتتۇرىسىدا نېپىز ھاۋا پەردىسى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ تېگىشمەسلىك پىرىنسىپى ئارقا تەرەپتىكى بۇلغىنىش، گىرۋەك يېرىلىش ۋە يۈزەكى بۇزۇلۇشنى يوقىتىدۇ، بۇ ئۇنى نېپىز (≤100 μm)، نازۇك ياكى ئېگىلىپ قالغان ۋافلىلارغا ماس كېلىدۇ. كېرامىك ئاساس يۇقىرى ئېگىلىش كۈچى (Al₂O₃ ئۈچۈن 361 MPa؛ SiC ئۈچۈن 550–600 MPa غىچە)، تۆۋەن ماسسا ۋە ئەلا ئۆلچەملىك مۇقىملىق بىلەن تەمىنلەيدۇ، يۇقىرى سۈرئەتلىك ۋافلى يۆتكەش روبوتلىرىدا تەكرارلىنىدىغان ئورۇننى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
-
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە سانائەت قوللىنىشلىرى ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن كېرامىك زاپچاسلىرى
St.Cera خېرىدارلارنىڭ تەلىپىگە ئاساسەن ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەنگەن ئاليۇمىن (Al₂O₃) كېرامىكا زاپچاسلىرىنى ئىشلەپچىقىرىدۇ. بۇ زاپچاسلار %99.8 يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىندىن پايدىلىنىپ، ئەلا سۈپەتلىك ئېگىلىش كۈچى (361 MPa)، يۇقىرى قاتتىقلىق (16 GPa) ۋە ئالاھىدە دىئېلېكترىك كۈچى (15 × 10⁶ V/m) بىلەن تەمىنلەيدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر، ئۇپراشقا چىداملىق قۇراشتۇرۇشلار، ئېلېكتر ئىزولياتورلىرى ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئۈسكۈنىلەر ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بۇ ماتېرىيال نۆلگە يېقىن سۇ سۈمۈرۈش كۈچى (0%) ۋە 7.2 × 10⁻⁶/℃ ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئېغىر شارائىتتا ئۆلچەملىك مۇقىملىقنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
-
بۇرمىلانغان ۋافېرنى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن تۆشۈكلۈك كېرامىك ۋاكۇئۇم چاكى
St.Cera نىڭ تۆشۈكلۈك كېرامىك چاقچىسى يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىندىن ياسالغان بولۇپ، ئوچۇق تۆشۈكلۈك نىسبىتى %30-45، تۆشۈك چوڭلۇقى 10 دىن 100 مىكرومېتىرغىچە بولىدۇ. ئادەتتىكى ئويمانلىق چاقلاردىن پەرقلىق ھالدا، تۆشۈكلۈك يۈزى پۈتۈن ۋاكۇئۇم تاختىسىنىڭ ئارقا تەرىپىگە تارقاق ۋاكۇئۇم بىلەن تەمىنلەيدۇ، گىرۋىكى كۆتۈرۈلۈپ ياكى سۇنۇپ كەتمەي، ئېگىلىپ قالغان، نېپىز ياكى يەككە ۋاكۇئۇم تاختىسىنى ئۈنۈملۈك ساقلايدۇ. يۇمشاق ۋاكۇئۇم (چەكلىگۈچ ئارقىلىق تەڭشىگىلى بولىدۇ) يەنە ئارقا تەرەپتىكى بەلگىلەرنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
-
نېپىز ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن ئاليۇمىن ئاساسلىق تۆشۈكلۈك كېرامىك ۋاكۇئۇم چاكى
St.Cera نىڭ ئاليۇمىن ئوكسىد ئاساسلىق تۆشۈكلۈك چاق 99.6% يۇقىرى ساپلىقتىكى Al₂O₃ دىن ياسالغان بولۇپ، ئوچۇق تۆشۈكلۈك نىسبىتى %30-45، تۆشۈكلۈك چوڭلۇقى 10 دىن 50 μm غىچە بولىدۇ. ئويمانلىق چاقلاردىن پەرقلىق ھالدا، تۆشۈكلۈك يۈزى پۈتۈن ۋاكۇئۇم بىلەن تەمىنلەيدۇ، گىرۋەك بەلگىلىرىنى يوقىتىدۇ ۋە ئىنتايىن نېپىز (≤100 μm) ياكى ئېگىلىپ قالغان ۋاكۇئۇملارنى يۇمشاق تۇتۇشقا شارائىت ھازىرلايدۇ. بۇ ماتېرىيال ≥250 MPa ئېگىلىش كۈچىگە ۋە ھاۋادا 400°C غىچە ئىسسىقلىق مۇقىملىقىغا ئىگە.
-
CVD/PVD دۇش بېشى ئۈچۈن ئاليۇمىن گاز تارقىتىش تاختىسى
St.Cera نىڭ گاز تەقسىملەش تاختىسى (دۇش بېشى) يۇقىرى ساپلىقتىكى %99.8 ئاليۇمىن كېرامىكىسىدىن ئېنىقلىق بىلەن ئىشلەنگەن. ئۇنىڭدا CVD، PVD ياكى ALD جەريانلىرىدا ۋافېر يۈزىدە بىردەك گاز ئېقىمىنى كاپالەتلەندۈرىدىغان بىر قاتار مىكرو تۆشۈكلەر (دىئامېتىرى 0.3–1.5 مىللىمېتىر) بار. تاختاينىڭ يۇقىرى دىئېلېكترىك كۈچى (>15×10⁶ V/m) ۋە پلازما قارشىلىقى ئۇنى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ نېپىز پەردە چۆكمىسى ئۈچۈن مۇھىم قىلىدۇ.
-
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاش ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن كېرامىك تىرەك مىخى
St.Cera نىڭ كېرامىك تىرەش مىخلىرى (يەنە كۆتۈرۈش مىخلىرى ياكى تىرەش مىخلىرى دەپمۇ ئاتىلىدۇ) يېرىم ئۆتكۈزگۈچ پىششىقلاش كامېرالىرىدا بىر تەرەپ قىلىش، قىزىتىش ياكى سوۋۇتۇش جەريانىدا ۋافلىلارنى ياكى ئاساسىي تاختىلارنى كۆتۈرۈش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. %99.8 ئاليۇمىن ياكى كرېمنىي نىترىدتىن ياسالغان بۇ مىخلار يۇقىرى بېسىم كۈچى، ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ۋە خىمىيىلىك قارشىلىق كۆرسىتىدۇ. يېرىم شار شەكىللىك ياكى ياپىلاق ئۇچلۇق لايىھە ۋافلىنىڭ چىزىلىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
