CVD / PVD پىششىقلاش كامېراسى ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن كېرامىك ھالقىسى

St.Cera نىڭ كېرامىك ھالقىسى CVD (خىمىيىلىك پار چۆكمىسى) ۋە PVD (فىزىكىلىق پار چۆكمىسى) پىششىقلاش كامېرالىرىدا ئىشلىتىش ئۈچۈن مەخسۇس لايىھەلەنگەن. %99.8 يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن (Al₂O₃) دىن ئىشلەپچىقىرىلغان بۇ ھالقىسى، پلازما بىلەن چەكلىنىپ، كامېرا تاملىرىنىڭ ئېروزىيەدىن ساقلىنىشى ئۈچۈن كامېرا ئاستى قەۋىتى، مەركەزلەشتۈرۈش ھالقىسى ياكى پىششىقلاش زاپچاسلىرى تەركىبىي قىسمى سۈپىتىدە خىزمەت قىلىدۇ. بۇ ماتېرىيال ئېسىل پلازما قارشىلىقى، يۇقىرى دىئېلېكترىك كۈچلۈكلۈك (15 × 10⁶ V/m) ۋە 1600 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان ئىسسىقلىق مۇقىملىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئاكتىپ فتور ئاساسلىق پلازما مۇھىتىدا ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. ئېنىق ئۆلچەمدىكى بەرداشلىق بېرىش (ID/OD دا ± 0.05 مىللىمېتىر) ۋە تۈزلۈك (≤10 μm) ۋافتا گىرۋىكىنىڭ مۇقىم ئورنىنى ساقلاپ، چۆكمىنىڭ بىردەكلىكىنى ياخشىلايدۇ ۋە زەررىچە ھاسىل بولۇشىنى ئازايتىدۇ.

ئۆلچەملەر (99.8% Al₂O₃ ئاساسىدا):

قوللىنىشچان پروگراممىلار:

• · CVD كامېراسىنىڭ فوكۇس ھالقىسى ۋە گىرۋەك ھالقىسى
• · PVD كامېراسى قالقان ھالقىلىرى ۋە قىسقۇچ ھالقىلىرى
• · ئويۇش كامېراسىنىڭ ئاستى ۋە قاپاق ھالقىسى
• · دىئېلېكترىك ئويۇش سىستېمىسىدىكى پلازما چەكلەش ھالقىسى

ئىشلەپچىقىرىش جەريانى:

ئىزوستاتىك بېسىش → يېشىل پىششىقلاش → 1600 سېلسىيە گرادۇستا سىنتېرلاش → CNC ID/OD ئۇۋىلاش → يۈزەكى چاپلاش → ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش → %100 CMM تەكشۈرۈش. ئىنتايىن سىلىق يۈزەكى پۈركۈش (Ra ≤0.4 μm) زەررىچىلەرنىڭ چاپلىشىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ.

سۈپەت كونترولى:

• · %100 ئۆلچەم تەكشۈرۈش (ID، OD، قېلىنلىق، تۈزلۈك)
• · يۈزەكى مىكرو يېرىقلارنى تەكشۈرۈش ئۈچۈن بوياقنىڭ سىڭىپ كىرىشىنى تەكشۈرۈش
• · ASTM D149 بويىچە دىئېلېكترىك كۈچ سىنىقى
• · 20× مىكروسكوپ ئاستىدا كۆرۈنىدىغان رەڭ ئۆزگىرىشى ياكى تۆشۈكلۈك ئۆزگىرىش يوق

مېتال ياكى كۋارتس ئۈزۈكلىرىگە قارىغاندا ئەۋزەللىكلىرى:

• · فتور پلازمىسىدىكى ئاليۇمىن ھالقىسىغا قارىغاندا 5–10 ھەسسە ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈش مۇددىتى
• · نېپىز پەردىلەردە مېتال بۇلغىنىشى يوق
• · كۋارتسقا قارىغاندا پلازما قارشىلىقى يۇقىرى (ئېروزىيە چوقۇرلىرى يوق)
• · ئۇزۇن مۇددەت ئىشلەتكەندىن كېيىنمۇ ئېلېكتر ئىزولياتسىيەسىنى >10¹⁴ Ω·cm ساقلايدۇ

باشقا ماتېرىيال — كرېمنىي نىترىد (Si)₃N₄):

تېخىمۇ يۇقىرى سۇنۇش چىدامچانلىقى (6.2 MPa·m¹/²) ۋە تېخىمۇ ياخشى ئىسسىقلىق سوقۇلۇشىغا قارشى تۇرۇش (كېڭەيتىش كوئېففىتسېنتى 3.2×10⁻⁶/℃) تەلەپ قىلىدىغان قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن Si₃N₄ ھالقىسى بار. قانداقلا بولمىسۇن، كۆپىنچە CVD/PVD قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن ئاليۇمىن ئوكسىدى تېخىمۇ ئەرزان. زاكاز قىلغاندا ماتېرىيالغا بولغان ئېھتىياجىڭىزنى ئېنىق بەلگىلەڭ.

خاسلاشتۇرۇش:

• · ئورنىتىش ئۈچۈن تۆشۈكلەر، باسقۇچلۇق پىروفىللار ياكى قارشى تەرەپ تۆشۈكلىرى
• · پلازما قارشىلىقىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن Y₂O₃ بىلەن قاپلانغان يۈزە (تاللاشچان)
• · زاپچاس نومۇرى / تۈركۈم كودىغا لازېرلىق ئويما ئويۇش

ئەسكەرتىش:يۇقىرىدىكى سانلىق مەلۇماتلار بېرىلگەن Al₂O₃ خۇسۇسىيەت جەدۋىلىگە قاتتىق ئەمەل قىلىدۇ. Si₃N₄ ھالقىلىرى ئۈچۈن، بېرىلگەن ئايرىم Si₃N₄ سانلىق مەلۇمات جەدۋىلىگە قاراڭ.