بېرنوللى كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورى — نېپىز ۋە نازۇك ۋافلىلارنى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن ئالاقىسىز ۋافلى بىر تەرەپ قىلىش

St.Cera نىڭ بېرنوللى كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورى فىزىكىلىق تېگىشسىز ۋافلىلارنى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن ئايرودىنامىك كۆتۈرۈش ئىقتىدارىدىن پايدىلىنىدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى %99.8 ئاليۇمىن (Al₂O₃) ياكى كرېمنىي كاربىد (SiC) دىن ئىشلەپچىقىرىلغان بولۇپ، ئۇ يۇقىرى ئۈنۈملۈك گاز چىقىرىپ، ئۇچى ئېففېكتور بىلەن ۋافلى ئوتتۇرىسىدا نېپىز ھاۋا پەردىسى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ تېگىشمەسلىك پىرىنسىپى ئارقا تەرەپتىكى بۇلغىنىش، گىرۋەك يېرىلىش ۋە يۈزەكى بۇزۇلۇشنى يوقىتىدۇ، بۇ ئۇنى نېپىز (≤100 μm)، نازۇك ياكى ئېگىلىپ قالغان ۋافلىلارغا ماس كېلىدۇ. كېرامىك ئاساس يۇقىرى ئېگىلىش كۈچى (Al₂O₃ ئۈچۈن 361 MPa؛ SiC ئۈچۈن 550–600 MPa غىچە)، تۆۋەن ماسسا ۋە ئەلا ئۆلچەملىك مۇقىملىق بىلەن تەمىنلەيدۇ، يۇقىرى سۈرئەتلىك ۋافلى يۆتكەش روبوتلىرىدا تەكرارلىنىدىغان ئورۇننى كاپالەتلەندۈرىدۇ.

ماتېرىياللارغا ئىزاھات:ئاليۇمىن (Al₂O₃) قاتتىقلىق، ئېلېكتر ئىزولياتسىيەسى، خىمىيىلىك مۇقىملىقى ۋە تەننەرخ ئۈنۈمى قاتارلىق ئالاھىدىلىكلەرنىڭ ئېسىل بىرىكمىسى سەۋەبىدىن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېر بىر تەرەپ قىلىشتا كېرامىك ئاخىرقى ئۈنۈم بەرگۈچىلەر ئۈچۈن ئەڭ كەڭ قوللىنىلىدىغان ماتېرىيال. كرېمنىي كاربىدى (SiC) ئەڭ تەلەپچان قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى، يۇقىرى قاتتىقلىق ۋە تېخىمۇ ياخشى ئۇپراشقا چىداملىق بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئىتترىيە بىلەن مۇقىملاشتۇرۇلغان زىركونىيە (ZrO₂) ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا يۇقىرى سۇنۇش چىدامچانلىقى بىلەن تەمىنلىسىمۇ، يۇقىرى زىچلىقى ۋە ئوخشىمىغان ئىسسىقلىق كېڭىيىش خۇسۇسىيىتى سەۋەبىدىن بۇ قوللىنىشچان پروگراممىدا ئاز ئىشلىتىلىدۇ؛ ئالاھىدە سۇنۇش چىدامچانلىقى تەلەپ قىلىنىدىغان ئالاھىدە ئەھۋاللاردا ئۇنى قوللىنىشقا بولىدۇ. ماتېرىيال تاللاش يېتەكچىلىكى ئۈچۈن تېخنىكىلىق گۇرۇپپىمىزغا مەسلىھەت سوراڭ.

تېخنىكىلىق ئۆلچەملەر(99.8% Al غا ئاساسلانغان)₂O₃):

ئىشلەش پىرىنسىپى:

سىقىلغان ھاۋا ياكى ئازوت (0.2–0.6 MPa) ئىچكى قاناللار ئارقىلىق تەمىنلىنىدۇ ۋە ئېنىقلىق پۇرۇشلىرى ئارقىلىق چىقىدۇ. تېزلەشتۈرۈلگەن ھاۋا ئېقىمى ئاخىرقى ئۈنۈم بەرگۈچىنىڭ ئۈستىدە تۆۋەن بېسىملىق رايون ھاسىل قىلىدۇ (بېرنۇللى ئۈنۈمى)، بۇ ئارقىلىق 50–200 μm بوشلۇقتا لېفتىنى تىرەپ تۇرىدىغان كۆتۈرۈش كۈچىنى ھاسىل قىلىدۇ. لېفتىنىڭ ئارقا تەرىپىگە ۋاكۇئۇم تۆشۈكلىرى ياكى ياستۇقچىلار تەگمەيدۇ.

قوللىنىشچان پروگراممىلار:

• · ئارقا تەرەپتىن ئۇۋىلىغاندىن كېيىن نېپىز ۋاپېل (≤50 μm) بىر تەرەپ قىلىش
• · بۇرمىلانغان ۋافېر توشۇش (مەسىلەن، CVD ياكى قىزىتىشتىن كېيىن)
• · قۇياش ئېنېرگىيەسى باتارېيەسى ۋە LED ياقۇت ئاساسىي ماتېرىيالىنى يۆتكەش
• · نۆل زەررىچە ھاسىل قىلىشنى تەلەپ قىلىدىغان تازىلاش ئۆيى ئاپتوماتلاشتۇرۇشى
• · كۆرسىتىش ئىشلەپچىقىرىشتا ئەينەك تاختىنى بىر تەرەپ قىلىش

ئىشلەپچىقىرىش جەريانى:

يۇقىرى ساپلىقتىكى پاراشوكتىن پىششىقلاپ ئىشلەنگەن كېرامىك ئاساس → گاز قاناللىرى ۋە ئېغىز تۆشۈكلىرىنى 5 ئوقلۇق CNC پىششىقلاپ ئىشلەش (دىئامېتىرى 0.3–1.0 مىللىمېتىر، چىدامچانلىقى ±0.01 مىللىمېتىر) → Ra ≤0.4 μm غىچە يۈزەكى سۈرتۈش → ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش → گېلىي ئېقىش سىنىقى (گاز قاناللىرى). قاپلاش تەلەپ قىلىنمايدۇ — يالىڭاچ كېرامىك يۈزى خىمىيىلىك جەھەتتىن ئىنېرتلىق ۋە بۇلغىنىش پەيدا قىلمايدۇ.

سۈپەت كونترولى:

• · پۇرچاق ئورنى، قول ئۇزۇنلۇقى ۋە تۈزلۈكىنىڭ %100 ئۆلچەملىك تەكشۈرۈشى (CMM)
• · ھاۋا ئېقىمىنىڭ بىردەكلىك سىنىقى: بارلىق پۇرۇشلاردا بېسىم چۈشۈش نىسبىتى ≤5%
• · ئېقىش سىنىقى: گاز يوللىرى 0.6 MPa دا پېچەتلەنگەن، 30 سېكۇنت ئىچىدە بېسىم چۈشۈپ كەتمەيدۇ
• · 20 × مىكروسكوپ ئاستىدا مىكرو يېرىقلار ياكى ئۆڭكۈرلەرنى كۆرۈش ئۈچۈن كۆز بىلەن تەكشۈرۈش

Aئەنئەنىۋى ئالاقىلىشىش ئۈنۈم بەرگۈچىلىرىگە قارىغاندا ئەۋزەللىكلىرى:

• · ۋافېرنىڭ ئارقا تەرىپىنىڭ بۇلغىنىشى يوق — مېخانىكىلىق ئۇچرىشىش يوق
• · نېپىز ۋاپشىرلارنىڭ گىرۋىكى يېرىلىپ كەتمەيدۇ ياكى سۇنۇپ كەتمەيدۇ
• · مۇقىم بوشلۇققا ئىگە، ئېگىلىپ قالغان ۋافلىلارنى (1 مىللىمېتىرغىچە بولغان ئېگىلىش) بىر تەرەپ قىلىدۇ
• · ۋاكۇئۇم گېنېراتورى ۋە تۆشۈكلۈك چاكنى ئاسراشنى يوقىتىدۇ
• · كېرامىك قۇرۇلما ئۇپراشقا ۋە خىمىيىلىك ھۇجۇمغا قارشى تۇرىدۇ

خاسلاشتۇرۇش:

• · 200 مىللىمېتىر، 300 مىللىمېتىر ياكى خاسلاشتۇرۇلغان ۋافلى چوڭلۇقلىرى ئۈچۈن بار
• · گاز پۇرۇش شەكلى: تۈز، بۇلۇڭلۇق ياكى ۋىرتېكىس تىپى
• · ماتېرىياللار: ئاليۇمىن (ئۆلچەملىك) ياكى كرېمنىي كاربىد (ئەڭ يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە ئۇپراشقا چىداملىقلىقى ئۈچۈن)
• · قولنىڭ ئۇزۇنلۇقى، ئورنىتىش فىلانسى ۋە گاز ئېغىزىنىڭ ئورنى OEM سىزمىسىغا ئاساسەن

چەكلىمىلەر:

بېرنۇللى پرىنسىپىنى يولغا قويۇش (چۆپۈك لايىھەسى، ھاۋا بوشلۇقى) تەمىنلەنگەن ماتېرىيال خۇسۇسىيەت جەدۋىلىنىڭ دائىرىسىدىن ھالقىپ كەتتى. يۇقىرىدىكى مېخانىكىلىق ۋە ئىسسىقلىق خۇسۇسىيەتلىرى %99.8 Al₂O₃ ئۈچۈن تەمىنلەنگەن سانلىق مەلۇمات جەدۋىلىگە قاتتىق ئەمەل قىلىدۇ. بۇ ماتېرىيال خۇسۇسىيەتلىرىگە ئاساسەن، بېسىم ئاستىدىكى كېرامىكنىڭ ئىقتىدارىنىڭ تۆۋەنلىشى كۈتۈلمەيدۇ. گاز ئېقىمىغا سەزگۈر ۋافلىلار (مەسىلەن، نازۇك قۇرۇلمىلىق MEMS) ئۈچۈن، گاز بېسىمى ۋە چۆپۈك لايىھەسىنى شۇنىڭغا ئاساسەن تەڭشەش كېرەك.