يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق كامېرانى پېچەتلەش ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن كېرامىك مۆھۈر ھالقىسى
St.Cera نىڭ كېرامىك مۇھاپىزەت ئۈزۈكى ئېلاستومېرلارنىڭ پارچىلىنىدىغان ئېغىر مۇھىتلاردا پولىمېر O-ھالقىنىڭ ئورنىنى ئالىدىغان قىلىپ لايىھەلەنگەن. %99.8 يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن (Al₂O₃) دىن ئىشلەپچىقىرىلغان بۇ قاتتىق مۇھاپىزەت ئۈزۈكى، ئادەتتە يۇمشاق مېتال ياكى گرافىت قىستۇرمىسى بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ، 800 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان تېمپېراتۇرىدا ۋە ئاكتىپ پلازما ياكى خىمىيىلىك مۇھىتتا ئىشەنچلىك ۋاكۇئۇم ياكى گازنى ساقلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ. بۇ ماتېرىيال نۆل گاز چىقىرىش، يۇقىرى بېسىم كۈچى (ئاساسىي ئېگىلىش كۈچى 361 MPa) ۋە خىمىيىلىك ئىنېرتلىق (HF دىن باشقا گالوگېن، كىسلاتا ۋە ئىشقارلارغا چىداملىق) بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئېنىق چاپلانغان مۇھاپىزەت يۈزى (تەكشىلىكى ≤5 μm، يۈزىنىڭ نازۇكلىقى Ra ≤0.2 μm) بىرلەشتۈرۈلگەن مېتال ياكى كېرامىك زاپچاسلار بىلەن سۇنىڭ ئۆتۈشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
تېخنىكىلىق ئۆلچەملەر(99.8% Al غا ئاساسلانغان)₂O₃):
| مۈلۈك | قىممەت |
| ماتېرىيال | %99.8 ئاليۇمىن (پىل چىشى) |
| زىچلىق | 3.93 گرام/سانتىمېتىر³ |
| سۇ سۈمۈرۈش | 0% |
| ئېگىلىش كۈچى | 361 MPa |
| سىقىلىش كۈچى (تەخمىنەن) | >2000 مېگاپالون |
| ۋىكېرس قاتتىقلىقى | 16 GPa |
| ئىسسىقلىق كېڭىيىشى (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ئەڭ يۇقىرى ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى | 800°C (ھاۋا)، 1600°C (ئىنېرت) |
| يۈزنى يېپىشتۇرۇش (يۈزنى پېچەتلەش) | Ra ≤0.2 μm (ئۈستىگە قويۇلغان) |
| تۈزلۈك (ھەر 25 مىللىمېتىرغا) | ≤5 مىكرومېتىر |
| گېلىي ئېقىش نىسبىتى | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (مۇۋاپىق قىستۇرما بىلەن) |
قوللىنىشچان پروگراممىلار:
- · يېرىم ئۆتكۈزگۈچ جەريان كامېراسىنىڭ ستاتىك پېچەتلىرى (CVD، PVD، etch)
- · يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئوچاق ئىشىكىنىڭ پېچەتلىرى
- · ۋاكۇئۇم ئارقىلىق يەتكۈزۈش فىلانسى
- · خىمىيىلىك رېئاكتور پاراخوتىنىڭ تاقىلىشى
ئىشلەپچىقىرىش جەريانى:
ئىزوستاتىك بېسىش → 1600 سېلسىيە گرادۇستا سىنتېرلاش → ئىككى تەرەپنى توغرا چاپلاش ئارقىلىق ئىنتايىن تەكشى، سىلىق پېچەتلەش يۈزلىرى → گىرۋەك قىيامى → ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش. ھەر بىر ھالقىسى ئۆلچەملىك مېتال قىستۇرما بىلەن گېلىي ئېقىپ كېتىش دېتېكتورىدا %100 ئېقىپ كېتىش سىنىقىدىن ئۆتىدۇ.
سۈپەت كونترولى:
- · CMM ئۆلچەم تەكشۈرۈشى (ID، OD، قېلىنلىق، پاراللېللىق)
- · Ra ۋە دولقۇنلۇقنى ئۆلچەيدىغان يۈزەكى پروفىلومېتر
- · ئوپتىكىلىق تۈزلەڭلىك ئارقىلىق تۈزلەڭلىكنى ئۆلچەش
- · گېلىي ئېقىش سىنىقى (ئارقا بېسىم ئۇسۇلى)
پولىمېر O-ھالقىسىغا قارىغاندا ئەۋزەللىكلىرى:
- · FFKM ئۈچۈن 800 ° C بىلەن <300 ° C قا بەرداشلىق بېرىدۇ
- · نۆل گاز چىقىرىش — ۋاكۇئۇم مۇھىتىنىڭ بۇلغىنىشى يوق
- · بارلىق پلازما خىمىيىلىك ماددىلارغا (فتور، خلور، ئوكسىگېن) چىداملىق
- · سىقىلىش ياكى مەڭگۈلۈك دېفورماسىيە يوق
- · پاكىز مۇھىتتا چەكسىز مۇلازىمەت ئۆمرى
چەكلىمىلەر (مۇھىم ئەسكەرتىشلەر):
- · O شەكىللىك ئۈزۈك ئەمەس— بۇ قاتتىق كېرامىكا ھالقىسى بولۇپ، يۇمشاق قىستۇرما (مىس، ئاليۇمىن ياكى گرافىت) بىلەن پېچەتلىنىدۇ.
- · دىنامىك ھەرىكەت ياكى چوڭ فىلانسنىڭ ماس كەلمەسلىكىنى قوبۇل قىلمايدۇ.
- · پولىمېر O شەكىللىك ئۈزۈككە قارىغاندا دەسلەپكى تەننەرخى يۇقىرى، ئەمما ئۆمرى ئۇزۇنراق بولغاچقا، ئىگىدارلىق تەننەرخى تۆۋەنلەيدۇ.
- · موزلۇق — ئېھتىيات بىلەن ئىشلىتىڭ؛ نۇقتىغا سوقۇلۇش ياكى ئېگىلىش بېسىمىدىن ساقلىنىڭ.
ئەسكەرتىش:يۇقىرىدىكى سانلىق مەلۇماتلار بېرىلگەن Al₂O₃ خۇسۇسىيەت جەدۋىلىگە قاتتىق ئەمەل قىلىدۇ. ئېلاستىك ماتېرىياللارغا ئائىت ھېچقانداق سانلىق مەلۇمات بېرىلمىدى. بۇ مەھسۇلات ئېلاستىك O شەكىللىك ئۈزۈك ئەمەس، بەلكى تۇراقلىق پېچەتلەش ئۈزۈكى. بۇنىڭ ئىلتىماس تەلىپىڭىزگە ماس كېلىدىغان-كەلمەيدىغانلىقىنى جەزملەشتۈرۈڭ.








