بۇرمىلانغان ۋافېرنى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن تۆشۈكلۈك كېرامىك ۋاكۇئۇم چاكى
St.Cera نىڭ تۆشۈكلۈك كېرامىك چاقچىسى يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىندىن ياسالغان بولۇپ، ئوچۇق تۆشۈكلۈك نىسبىتى %30-45، تۆشۈك چوڭلۇقى 10 دىن 100 مىكرومېتىرغىچە بولىدۇ. ئادەتتىكى ئويمانلىق چاقلاردىن پەرقلىق ھالدا، تۆشۈكلۈك يۈزى پۈتۈن ۋاكۇئۇم تاختىسىنىڭ ئارقا تەرىپىگە تارقاق ۋاكۇئۇم بىلەن تەمىنلەيدۇ، گىرۋىكى كۆتۈرۈلۈپ ياكى سۇنۇپ كەتمەي، ئېگىلىپ قالغان، نېپىز ياكى يەككە ۋاكۇئۇم تاختىسىنى ئۈنۈملۈك ساقلايدۇ. يۇمشاق ۋاكۇئۇم (چەكلىگۈچ ئارقىلىق تەڭشىگىلى بولىدۇ) يەنە ئارقا تەرەپتىكى بەلگىلەرنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
تېخنىكىلىق ئۆلچەملەر(99.6% Al غا ئاساسلانغان)₂O₃):
| مۈلۈك | قىممەت |
| تۆشۈكلۈك | 30–45% |
| ئوتتۇرىچە تۆشۈك چوڭلۇقى | 10–100 μm (تاللاشقا بولىدۇ) |
| ئېگىلىش كۈچى | ≥250 MPa |
| تۈزلۈك (300 مىللىمېتىردىن يۇقىرى) | ≤5 مىكرومېتىر |
| يۈزەكى رەڭ | قاپلانغان (Ra 0.8 μm) |
| ئەڭ يۇقىرى ۋاكۇئۇم سەۋىيەسى | -80 كىلوپاستېر |
| ئىشلەش تېمپېراتۇرىسى | 400°C (ھاۋا)، 600°C (ئىنېرت) |
| ماتېرىيال | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂ ياكى SiC |
قوللىنىشچان پروگراممىلار:
نېپىز ۋافېر (≤50 μm) ئارقا تەرىپىنى ئۇۋىلاش
توغراش ئۈچۈن ئېگىلىپ قالغان ۋافلى ئورنىتىش
لېنتىدىن يەككە شەكىللىك قېلىپ ئېلىش
ئەينەك تاختىنى بىر تەرەپ قىلىش
ئىشلەپچىقىرىش ۋە سۈپەت:
كېرامىكا پاراشوكى ئورگانىك تۆشۈك ھاسىل قىلغۇچ بىلەن ئارىلاشتۇرۇلۇپ → سىلىقلانغان → پىرىسلانغان → ئاخىرقى قېلىنلىققا يەتكۈزۈلگەن. ھەر بىر چاق ۋاكۇئۇم بىردەكلىكى (≤5% چەتنىشىش) ئۈچۈن ئېقىم سىنىقىدىن ئۆتكۈزۈلىدۇ ۋە تۆشۈك چوڭلۇقىنىڭ تەقسىملىنىشى (SEM) تەكشۈرۈلىدۇ. تۈزلۈك لازېر ئارىلىق ئۆلچەش ئەسۋابى بىلەن ئۆلچەنگەن.
ئويمانلىق چاكلارغا قارىغاندا ئەۋزەللىكلىرى:
ۋافتا گىرۋىكىنىڭ بەلگىسى ياكى قېلىپ يۆتكىلىشى يوق
ئېگىلىپ قالغان ۋافلىلارنى (500 مىكرومېتىرغىچە) ساقلايدۇ
ۋاكۇئۇم تۆشۈكلىرىنىڭ تىقىلىپ قېلىشىنى يوقىتىدۇ
نېپىز ئاساسىي قاتلاملار ئۈچۈن ئۆزلۈكىدىن تۈزلەش تىرەكلىرى
خاسلاشتۇرۇش:
يۇمىلاق ياكى تىك تۆت بۇلۇڭ شەكىللىك، چوڭلۇقى 600 مىللىمېتىرغىچە. بىز گىرۋەك پېچەتلەش ھالقىسى ياكى رايون ۋاكۇئۇم توسۇش ئۈسكۈنىلىرىنى ئىشلەتسەك بولىدۇ. يۇقىرى قاتتىقلىق تەلىپى ئۈچۈن مېتال ئارقا كۆرۈنۈشلۈك نۇسخىلار بار.
ۋاپلېرىڭىزنىڭ چوڭلۇقى ۋە بۇرۇلۇش سىنىقى ئۈچۈن ئۈلگە تەلەپ قىلىڭ.
