پلازما ئوراپ ئىشلەش ۋە يۈرەك-قان تومۇر سىستېمىسى ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن كامېرىسى فوكۇس ھالقىسى
St.Cera نىڭ كامېرا فوكۇس ھالقىسى پلازما ئويۇش، CVD ۋە PVD يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىدە ئىشلىتىلىدىغان مۇھىم بىر جەريان زاپچاسلىرىنىڭ بىرى. %99.8 يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن (Al₂O₃) دىن ئىشلەپچىقىرىلغان بۇ ھالقىسى پلازما چېتىنى ئوراپ، پلازمانى چەكلەيدۇ ۋە ئىئون بۇلۇڭلۇق تەقسىملىنىشىنى ئەلالاشتۇرىدۇ، شۇنىڭ بىلەن پلازما يۈزىدە ئويۇشنىڭ بىردەكلىكىنى ياخشىلايدۇ. بۇ ماتېرىيال ئالاھىدە پلازما قارشىلىقى، يۇقىرى دىئېلېكترىك كۈچلۈكلۈكى (15 × 10⁶ V/m) ۋە 1600 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان ئىسسىقلىق مۇقىملىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ، بۇ ئاكتىپ فتور ياكى خلور ئاساسلىق پلازما مۇھىتىدا ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىكلىكنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. ئېنىق يەر ID/OD ۋە تۈزلۈك (≤10 μm) پلازما چېتىنى توغرا ئورۇنلاشتۇرۇشنى، چېت كەمتۈكلۈكلىرى ۋە زەررىچە ھاسىل بولۇشىنى ئازايتىشنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ.
تېخنىكىلىق ئۆلچەملەر(99.8% Al غا ئاساسلانغان)₂O₃):
| مۈلۈك | قىممەت |
| ماتېرىيال | %99.8 ئاليۇمىن (پىل چىشى) |
| زىچلىق | 3.93 گرام/سانتىمېتىر³ |
| سۇ سۈمۈرۈش | 0% |
| ئېگىلىش كۈچى | 361 MPa |
| سۇنۇش چىدامچانلىقى | 3–4 MPa·m¹/² |
| ۋىكېرس قاتتىقلىقى | 16 GPa |
| ياڭنىڭ مودۇلى | 380 GPa |
| ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى | 32 W/m·k |
| ئىسسىقلىق كېڭىيىشى (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| دىئېلېكترىك كۈچ | 15×10⁶ V/m |
| ئالاھىدە قارشىلىق | >10¹⁴ Ω·cm |
| ئەڭ يۇقىرى ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى | 1600 سېلسىيە گرادۇس |
قوللىنىشچان پروگراممىلار:
- · دىئېلېكترىك ئويۇش كامېراسى فوكۇس ھالقىسى (ئوكسىد، نىترىد ئويۇش)
- · كرېمنىي ئويۇش كامېراسىنىڭ گىرۋەك ھالقىسى
- · CVD كامېراسىنىڭ جەريان زاپچاسلىرى ئۈزۈكى
- · PVD كامېراسى قالقىنى ۋە قىسقۇچ ھالقىلىرى
ئىشلەپچىقىرىش جەريانى:
يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن پاراشوكى ئىزوستاتىك سىقىلىدۇ → يېشىل رەڭلىك ماشىنىدا تورغا يېقىن شەكىلگە كەلتۈرۈلىدۇ → 1600 سېلسىيە گرادۇستا پىشۇرۇلىدۇ → CNC ئالماس ئۇۋىلاش ئارقىلىق ID، OD ۋە قېلىنلىق → تەكشىلىك ≤10 μm غا يېتىش ئۈچۈن چاپلاش → ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش → %100 CMM تەكشۈرۈشى. يۈزەكى رەڭگى Ra ≤0.4 μm زەررىچىلەرنىڭ چاپلىشىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرىدۇ.
سۈپەت كونترولى:
- · %100 ئۆلچەملىك تەكشۈرۈش (ID، OD، قېلىنلىق، پاراللېللىق)
- · مىكرو يېرىقلارغا بوياقنىڭ سىڭىپ كىرىش سىنىقى (يېرىقلارغا يول قويۇلمايدۇ)
- · 20 × مىكروسكوپ ئاستىدا كۆرۈش ئارقىلىق تەكشۈرۈش — ھېچقانداق يېرىق، بوشلۇق ياكى رەڭ ئۆزگىرىشى يوق
- · ASTM D149 بويىچە دىئېلېكترىك كۈچ سىنىقى (ئۈلگە ئېلىش)
كرېمنىي ياكى كۋارتس فوكۇس ھالقىسىغا قارىغاندا ئەۋزەللىكلىرى:
- · فلۇئوروكاربون پلازمىسىدا ئۆمۈر كۆرۈش ۋاقتى 5–10 ھەسسە ئۇزۇنراق
- · ۋافلىلارنى بۇلغىمايدىغان ئېروزىيە زەررىچىلىرى يوق
- · يۇقىرى دىئېلېكترىك كۈچ قوس شەكىللىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ
- · مىڭلىغان RF سائەت ئىچىدە تۈزلۈك ۋە ئۆلچەم توغرىلىقىنى ساقلايدۇ
باشقا ماتېرىيال — ئىتترىيە بىلەن مۇقىملاشتۇرۇلغان زىركونىي (ZrO₂):
يۇقىرى سۇنۇش چىدامچانلىقىنى تەلەپ قىلىدىغان قوللىنىشچان پروگراممىلار ئۈچۈن (مەسىلەن، دائىم ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكى ياكى مېخانىكىلىق سوقۇلۇش بولىدىغان كامېرالار)، ZrO₂ فوكۇس ھالقىسى (زىچلىقى 6.03 g/cm³، ئېگىلىش كۈچى 1000 MPa، سۇنۇش چىدامچانلىقى 5–8 MPa·m¹/²) بار. قانداقلا بولمىسۇن، ئاليۇمىن ئوكسىدى تېخىمۇ ياخشى تەننەرخ ئۈنۈمى بىلەن تەمىنلەيدۇ ھەمدە كۆپىنچە فوكۇس ھالقىسى قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن كەسىپ ئۆلچىمى ھېسابلىنىدۇ.
خاسلاشتۇرۇش:
- · خېرىدارنىڭ سىزمىسى بويىچە قەدەم پىروفىللىرى، ئۈستەل تۆشۈكلىرى ياكى ئورنىتىش تۆشۈكلىرى
- · پلازما ئېروزىيەسىگە قارشى تۇرۇش كۈچىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن Y₂O₃ قاپلىمى (قېلىنلىقى 20–100 μm)
- · زاپچاس نومۇرى، ۋاقىت كودى ياكى تەڭشەش بەلگىلىرىنى لازېر بىلەن بەلگىلەش
ئەسكەرتىش:بارلىق سانلىق مەلۇماتلار بېرىلگەن Al₂O₃ خۇسۇسىيەت جەدۋىلىگە قاتتىق ئەمەل قىلىدۇ. ZrO₂ ئۆلچىمى ئۈچۈن بېرىلگەن زىركونىيە سانلىق مەلۇمات جەدۋىلىگە قاراڭ. فوكۇس ھالقىسى لايىھەلىرى پاتېنت تەستىقىدىن ئۆتۈشنى تەلەپ قىلىشى مۇمكىن - خېرىدارلار ئەقلىي مۈلۈك ھوقۇقىنى تەكشۈرۈشكە مەسئۇل.








