CVD/PVD دۇش بېشى ئۈچۈن ئاليۇمىن گاز تارقىتىش تاختىسى
St.Cera نىڭ گاز تەقسىملەش تاختىسى (دۇش بېشى) يۇقىرى ساپلىقتىكى %99.8 ئاليۇمىن كېرامىكىسىدىن ئېنىقلىق بىلەن ئىشلەنگەن. ئۇنىڭدا CVD، PVD ياكى ALD جەريانلىرىدا ۋافېر يۈزىدە بىردەك گاز ئېقىمىنى كاپالەتلەندۈرىدىغان بىر قاتار مىكرو تۆشۈكلەر (دىئامېتىرى 0.3–1.5 مىللىمېتىر) بار. تاختاينىڭ يۇقىرى دىئېلېكترىك كۈچى (>15×10⁶ V/m) ۋە پلازما قارشىلىقى ئۇنى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ نېپىز پەردە چۆكمىسى ئۈچۈن مۇھىم قىلىدۇ.
ئۆلچەملەر:
| مۈلۈك | قىممەت |
| ماتېرىيال | 99.8% Al₂O₃ ياكى SiC |
| دىئامېتىر | 100 – 1500 مىللىمېتىر (يۇمىلاق) ياكى تىك تۆت بۇلۇڭلۇق |
| قېلىنلىقى | 5 – 20 مىللىمېتىر |
| تۆشۈك دىئامېتىرى | 0.3 – 1.5 مىللىمېتىر |
| تۆشۈك شەكلى | خاسلاشتۇرۇلغان (ئۈچبۇلۇڭلۇق، چاسا شەكىللىك، رادىئال) |
| تۈزلۈك | پۈتۈن مەيداندا ≤10 μm |
| يۈزەكى پۇراقلىق | Ra ≤0.6 μm (گاز تەرىپى) |
| ئوچۇق رايون نىسبىتى | 5–15% |
قوللىنىشچان پروگراممىلار:
PECVD دۇش بېشى تاختىلىرى
ALD گاز ئىنژېكتورلىرى
ئاشلاش كامېراسى گاز تەقسىملەش تاختىلىرى
MOCVD رېئاكتورىنىڭ تەركىبلىرى
ئىشلەپچىقىرىش:
ئاليۇمىن ياپراقچىسى بىلەن تەكشى قاپلانغان → ئالماس قاپلانغان قوراللار بىلەن CNC بۇرغىلاش (تۆشۈك ئورنىنىڭ بەرداشلىق بېرىشچانلىقى ±0.02 مىللىمېتىر) → قېپىنى تازىلاش → ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش → 100-دەرىجىلىك ئورالما.
سۈپەت كونترولى:
ھەر بىر تاختا تۆشۈك چوڭلۇقى (كۆرۈش سىستېمىسى)، تۈزلۈكلىكى (لازېرلىق ئارىلىشىش ئۆلچەش ئەسۋابى) ۋە گاز ئېقىمىنىڭ بىردەكلىكى (بېسىم خەرىتىسى) قاتارلىق جەھەتلەردىن %100 تەكشۈرۈلىدۇ. 20x مىكروسكوپ ئاستىدا مىكرو يېرىق يوق.
مېتال تاختىلارغا قارىغاندا ئەۋزەللىكلىرى:
نېپىز پەردىلەردە مېتال بۇلغىنىشى يوق
زەررىچە ھاسىل بولۇش نىسبىتى تۆۋەن (داتلىشىش پارچىلىرى يوق)
كۈچلۈك تازىلاش پلازمىسىغا (CF₄، NF₃) چىداملىق
خاسلاشتۇرۇلغان ئالاھىدىلىكلەر:
ئارقا تەرەپتىكى گاز يوللىرى، قارشى تەرەپتىكى تۆشۈكلەر، گىرۋەك پېچەتلىرى ۋە ھەر خىل ماتېرىيال دەرىجىلىرى (يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ئۈچۈن SiC، پلازما قارشىلىقى ئۈچۈن Y₂O₃ قاپلىمى).
بىز ئىشلەپچىقىرىشتىن بۇرۇن CAD دەلىللەش ۋە ئېقىم سىمۇلياتسىيەسى بىلەن تەمىنلەيمىز.
