-
ئاليۇمىن يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى كېرامىك ھالقىسى كېرامىك زاپچاسلىرى
سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىشۇرۇش، ئاندىن ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە سىلىقلاش ئارقىلىق شەكىللەنگەن كېرامىكا زاپچاسلىرى ئۇپراشقا چىداملىق، چىرىشكە چىداملىق، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە ئىسسىقلىق ساقلاش قاتارلىق ئالاھىدىلىكلىرى بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر قانداق قاتتىق تەلىپىگە جاۋاب بېرەلەيدۇ. كېرامىكا نۇرغۇن خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە يۇقىرى تېمپېراتۇرا، ۋاكۇئۇم ياكى چىرىش گازى شارائىتىدا ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىيەلەيدۇ.
يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن پاراشوكىدىن ياسالغان، سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىرىسلاش ۋە ئېنىق پىششىقلاش ئارقىلىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن بولۇپ، ئۆلچىمى ±0.001 مىللىمېتىرغىچە بولغان چىدامچانلىققا، يۈزەكى رەڭگى Ra 0.1 گە، تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى 1600℃ غا يېتىدۇ.
-
ST.CERA خاسلاشتۇرۇلغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى كېرامىك چاكلىرى
سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىشۇرۇش، ئاندىن ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە سىلىقلاش ئارقىلىق شەكىللەنگەن كېرامىكا زاپچاسلىرى ئۇپراشقا چىداملىق، چىرىشكە چىداملىق، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە ئىسسىقلىق ساقلاش قاتارلىق ئالاھىدىلىكلىرى بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر قانداق قاتتىق تەلىپىگە جاۋاب بېرەلەيدۇ. كېرامىكا نۇرغۇن خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە يۇقىرى تېمپېراتۇرا، ۋاكۇئۇم ياكى چىرىش گازى شارائىتىدا ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىيەلەيدۇ.
يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن پاراشوكىدىن ياسالغان، سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىرىسلاش ۋە ئېنىق پىششىقلاش ئارقىلىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن بولۇپ، ئۆلچىمى ±0.001 مىللىمېتىرغىچە بولغان چىدامچانلىققا، يۈزەكى رەڭگى Ra 0.1 گە، تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى 1600℃ غا يېتىدۇ.
-
كرېمنىي كاربىد (SiC) كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورى – يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ۋافلى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن يۇقىرى قاتتىقلىق
St.Cera نىڭ SiC كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورى S1111 تۈركۈم ماتېرىيالى ئارقىلىق يۇقىرى ساپلىقتىكى كرېمنىي كاربىد (SiC مىقدارى 99.72%، ئەركىن Si 0.05%) دىن ئىشلەپچىقىرىلىدۇ. ئۇ ئالاھىدە مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلەرگە ئىگە: ئېگىلىش كۈچى 449 MPa (ئۆلچەنگەن)، ئېلاستىكلىق مودۇلى 457 GPa (ئۆلچەنگەن) ۋە ۋىكېرس قاتتىقلىقى 25–28 GPa (ئادەتتىكى). تۆۋەن زىچلىق (ئادەتتىكى 3.10–3.15 g/cm³) يۇقىرى ئۆزگىچە قاتتىقلىق بىلەن تەمىنلەيدۇ، يۇقىرى سۈرئەتلىك ۋافېر يۆتكەش روبوتلىرى ئۈچۈن ئەڭ ماس كېلىدۇ. ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى 120–150 W/m·K (ئادەتتىكى) ۋە ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ئادەتتىكى) بىلەن، بۇ ئۇچى ئېففېكتور يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا بىر تەرەپ قىلىش جەريانىدا (1600–1700°C غىچە، يۈك يوق) ئىسسىقلىقنى ئۈنۈملۈك تارقىتىدۇ ۋە ئۆلچەملىك مۇقىملىقنى ساقلايدۇ. قارا/كۈلرەڭ رەڭ ۋە نۆل سۇ سۈمۈرۈشچانلىقى پاكىز ئۆينىڭ ماسلىشىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
-
يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە پلازما مۇھىتى ئۈچۈن كرېمنىي كاربىد (SiC) ئاساسلىق ۋاكۇئۇم چاك
St.Cera نىڭ SiC ئاساسلىق كېرامىك چاق يۇقىرى ساپلىقتىكى كرېمنىي كاربىدتىن ئىشلەپچىقىرىلىدۇ (پارچە S1111، SiC 99.72%، ئەركىن Si 0.05%). ئۇ ئۆلچەنگەن ئېگىلىش كۈچى 449 MPa، سۇنۇش چىدامچانلىقى 3.12 MPa·m¹/² ۋە ئېلاستىكلىق مودۇلى 457 GPa. ماتېرىيالنىڭ ئادەتتىكى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (120–150 W/m·K) ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكى جەريانىدا تېمپېراتۇرىنىڭ تېز ئۆرلىشى ۋە ۋاپپېرنىڭ ئېگىلىپ كېتىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەكتە ساقلايدۇ. چاقنى تۆشۈكلۈك ۋاكۇئۇم چاق (بىر خىل گاز ئېقىمى) ياكى ئويمانلىق ئۆلچەملىك چاق قىلىپ تەڭشىگىلى بولىدۇ. ئەڭ يۇقىرى ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى 1600–1700°C (يۈكسىز) ۋە ئالاھىدە پلازما ئېروزىيەسىگە چىداملىق بولغاچقا، بۇ چاق يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ۋاپپېر بىر تەرەپ قىلىش (تاملاش، RTP) ۋە ئاليۇمىن ئوكسىد چاقلىرىنىڭ پارچىلىنىدىغان ئاكتىپ ئوراپ ئېچىش كامېرالىرىغا ماس كېلىدۇ.
-
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى كېرامىك زاپچاسلار كېرامىك توشۇغۇچىلار
سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىشۇرۇش، ئاندىن ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە سىلىقلاش ئارقىلىق شەكىللەنگەن كېرامىكا زاپچاسلىرى ئۇپراشقا چىداملىق، چىرىشكە چىداملىق، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە ئىسسىقلىق ساقلاش قاتارلىق ئالاھىدىلىكلىرى بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر قانداق قاتتىق تەلىپىگە جاۋاب بېرەلەيدۇ. كېرامىكا نۇرغۇن خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە يۇقىرى تېمپېراتۇرا، ۋاكۇئۇم ياكى چىرىش گازى شارائىتىدا ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىيەلەيدۇ.
يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن پاراشوكىدىن ياسالغان، سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىرىسلاش ۋە ئېنىق پىششىقلاش ئارقىلىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن بولۇپ، ئۆلچىمى ±0.001 مىللىمېتىرغىچە بولغان چىدامچانلىققا، يۈزەكى رەڭگى Ra 0.1 گە، تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى 1600℃ غا يېتىدۇ.
-
يۇقىرى قاتتىقلىقتىكى چاپلاش قوللىنىشچان پروگراممىلىرى ئۈچۈن مېتال ئاساسلىق ئاليۇمىن كېرامىك ئۇۋىلاش ھالقىسى
St.Cera نىڭ مېتال ئاساس قىلىنغان ئاليۇمىن ئۇۋىلاش ھالقىسى يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن (99.8% Al₂O₃) كېرامىك ئۇۋىلاش قەۋىتى بىلەن ئېنىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن مېتال ئارقا قەۋىتى (ئادەتتە ئاليۇمىن ياكى داتلاشماس پولات) نى بىرلەشتۈرىدۇ. بۇ ئارىلاشما لايىھە كېرامىكنىڭ ئۇۋىلاش يۈزىدە ئالاھىدە ئۇۋىلاش چىدامچانلىقى ۋە خىمىيىلىك ئىنېرتلىقىنى تەمىنلەيدۇ، مېتال ئاساسى بولسا مېخانىكىلىق كۈچ، ئورنىتىش ئاسان ۋە سۇنۇشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى ئاشۇرىدۇ. ئاليۇمىن قەۋىتى 361 MPa ئېگىلىش چىدامچانلىقى، 16 GPa ۋىكېرس قاتتىقلىقى ۋە 800 سېلسىيە گرادۇسقىچە بولغان ئىسسىقلىق مۇقىملىقى بىلەن تەمىنلەيدۇ. مېتال ئاساسقا ئورنىتىش تۆشۈكلىرى، ئورۇنلاشتۇرۇش مىخلىرى ياكى ماگنىتلىق خۇسۇسىيەتلەر خاسلاشتۇرۇلغان بولۇپ، ئۇلىغۇچ ماشىنىلار، سەييارە ئۇۋىلاش ماشىنىلىرى ۋە CMP ئۈسكۈنىلىرىگە بىرلەشتۈرۈلىدۇ.
-
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زوند پونكىتى ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن كېرامىك زاپچاسلار
سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىشۇرۇش، ئاندىن ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە سىلىقلاش ئارقىلىق شەكىللەنگەن كېرامىكا زاپچاسلىرى ئۇپراشقا چىداملىق، چىرىشكە چىداملىق، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە ئىسسىقلىق ساقلاش قاتارلىق ئالاھىدىلىكلىرى بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر قانداق قاتتىق تەلىپىگە جاۋاب بېرەلەيدۇ. كېرامىكا نۇرغۇن خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە يۇقىرى تېمپېراتۇرا، ۋاكۇئۇم ياكى چىرىش گازى شارائىتىدا ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىيەلەيدۇ.
يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن پاراشوكىدىن ياسالغان، سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىرىسلاش ۋە ئېنىق پىششىقلاش ئارقىلىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن بولۇپ، ئۆلچىمى ±0.001 مىللىمېتىرغىچە بولغان چىدامچانلىققا، يۈزەكى رەڭگى Ra 0.1 گە، تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى 1600℃ غا يېتىدۇ.
-
Al2O3 كېرامىك ۋافېر چاكىنى خاسلاشتۇرۇلغان ھالدا پىششىقلاپ ئىشلەش
سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىشۇرۇش، ئاندىن ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە سىلىقلاش ئارقىلىق شەكىللەنگەن كېرامىكا زاپچاسلىرى ئۇپراشقا چىداملىق، چىرىشكە چىداملىق، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە ئىسسىقلىق ساقلاش قاتارلىق ئالاھىدىلىكلىرى بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر قانداق قاتتىق تەلىپىگە جاۋاب بېرەلەيدۇ. كېرامىكا نۇرغۇن خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە يۇقىرى تېمپېراتۇرا، ۋاكۇئۇم ياكى چىرىش گازى شارائىتىدا ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىيەلەيدۇ.
يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن پاراشوكىدىن ياسالغان، سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىرىسلاش ۋە ئېنىق پىششىقلاش ئارقىلىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن بولۇپ، ئۆلچىمى ±0.001 مىللىمېتىرغىچە بولغان چىدامچانلىققا، يۈزەكى رەڭگى Ra 0.1 گە، تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى 1600℃ غا يېتىدۇ.
-
ST.CERA خاسلاشتۇرۇلغان يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى كېرامىك تاختىسى
سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش ۋە يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىشۇرۇش، ئاندىن ئېنىقلىق بىلەن پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە سىلىقلاش ئارقىلىق شەكىللەنگەن كېرامىكا زاپچاسلىرى ئۇپراشقا چىداملىق، چىرىشكە چىداملىق، تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ۋە ئىسسىقلىق ساقلاش قاتارلىق ئالاھىدىلىكلىرى بىلەن يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ھەر قانداق قاتتىق تەلىپىگە جاۋاب بېرەلەيدۇ. كېرامىكا نۇرغۇن خىل يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىش ئۈسكۈنىلىرىدە يۇقىرى تېمپېراتۇرا، ۋاكۇئۇم ياكى چىرىش گازى شارائىتىدا ئۇزۇن مۇددەت ئىشلىيەلەيدۇ.
يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن پاراشوكىدىن ياسالغان، سوغۇق ئىزوستاتىك بېسىش، يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پىرىسلاش ۋە ئېنىق پىششىقلاش ئارقىلىق پىششىقلاپ ئىشلەنگەن بولۇپ، ئۆلچىمى ±0.001 مىللىمېتىرغىچە بولغان چىدامچانلىققا، يۈزەكى رەڭگى Ra 0.1 گە، تېمپېراتۇرىغا چىدامچانلىقى 1600℃ غا يېتىدۇ.
-
300 مىللىمېتىرلىق ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن 12 دىيۇملۇق ئاليۇمىن ۋاكۇئۇم چاكى
St.Cera نىڭ 12 دىيۇملۇق ۋاكۇئۇم چاقنى 300 مىللىمېتىرلىق ۋاكۇئۇم بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن %99.8 يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن (Al₂O₃) دىن ئېنىقلىق بىلەن لايىھەلەنگەن. چاقنىڭ يۈزى ئىنچىكە ئويۇقلۇققا ئىگە (ئويۇقلۇق كەڭلىكى 0.5–1.0 مىللىمېتىر، ئارىلىقى 2–3 مىللىمېتىر) بولۇپ، پۈتۈن 300 مىللىمېتىرلىق دىئامېتىردا ۋاكۇئۇمنىڭ بىردەك تارقىلىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. تۈزلۈك 5 μm ئىچىدە ساقلىنىدۇ، بۇ ۋاكۇئۇم پارچىلاش، ئارقا تەرەپنى ئۇۋىلاش ۋە تەكشۈرۈش جەريانىدا ئېگىلىپ كەتمەيدىغان ھالەتتە مۇقىملاشتۇرۇلىدۇ. ماتېرىيالنىڭ يۇقىرى ئېگىلىش كۈچى (361 MPa) ۋە قاتتىقلىقى (16 GPa) قايتا-قايتا ۋاكۇئۇم دەۋرىيلىكى ئاستىدا ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۆلچەملىك مۇقىملىقنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
-
ئاليۇمىن كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورى، بىرلەشتۈرۈلگەن ۋاكۇئۇم قاناللىرى بار
St.Cera نىڭ ئاليۇمىن ئوكسىدلىق ۋاكۇئۇم ئېففېكتورى ئېنىقلىق بىلەن ئىشلەنگەن ۋاكۇئۇم قاناللىرى ۋە سۈمۈرۈش تۆشۈكلىرىنى بىۋاسىتە %99.8 يۇقىرى ساپلىقتىكى ئاليۇمىن ئوكسىدلىق گەۋدىگە بىرلەشتۈرىدۇ. بۇ لايىھە سىرتقى ۋاكۇئۇم ياستۇقچىلىرىنى يوقىتىپ، تەكشى تۇتۇش كۈچى بىلەن بىۋاسىتە ۋاكۇئۇم ئېلىشنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ. ماتېرىيالنىڭ يۇقىرى ئېگىلىش كۈچى (361 MPa) ۋە قاتتىقلىقى (16 GPa) قايتا-قايتا ۋاكۇئۇم دەۋرىيلىكى ئاستىدا ئۇزۇن مۇددەتلىك ئۆلچەم مۇقىملىقىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ. ياستۇقچىنىڭ تەكشىلىكى 10 μm ئىچىدە ساقلىنىدۇ، ۋاكۇئۇم ياستۇقچىسىنىڭ بېسىمى ۋە سۇنۇشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. ۋاكۇئۇم ئېغىزلىرى ئارقا ئورنىتىش فىلانكىسىغا جايلاشقان بولۇپ، OEM روبوت قوللىرى بىلەن ئاسان بىرلەشتۈرۈلىدۇ.
-
ESD-بىخەتەر ئاليۇمىن كېرامىك زاپچاسلىرى، ستاتىك سەزگۈر ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن
St.Cera نىڭ ESD (ئېلېكتروستاتىك قويۇپ بېرىش) بىخەتەر ئاليۇمىن كېرامىكا زاپچاسلىرى %99.8 يۇقىرى ساپلىقتىكى Al₂O₃ دىن ئىشلەپچىقىرىلىدۇ، يۈزەكى قارشىلىق دەرىجىسى 10⁶–10⁹ Ω/sq بولۇپ، مەخسۇس قوشۇلغان قېتىشما ياكى قاپلاش جەريانى ئارقىلىق قولغا كەلتۈرۈلىدۇ. بۇ زاپچاسلار ئۈنۈملۈك ھالدا ستاتىك توكنى تارقىتىپ، سەزگۈر يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋاپلېر ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئېلېكتروستاتىك بۇزۇلۇشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. ئاساسىي ماتېرىيال يۇقىرى ئېگىلىش كۈچىنى (361 MPa)، قاتتىقلىقىنى (16 GPa) ۋە دىئېلېكترىك كۈچىنى (15 × 10⁶ V/m) ساقلايدۇ. ESD بىخەتەر كېرامىكا زاپچاسلىرى ئۇچ ئېففېكتورلىرى، كۆتۈرۈش مىخلىرى، يېتەكلەش رېلىسلىرى ۋە FAB ئاپتوماتلاشتۇرۇش ئۈچۈن خاسلاشتۇرۇلغان ئۈسكۈنىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
