كرېمنىي كاربىد (SiC) كېرامىك ئۇچى ئېففېكتورى – يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ۋافلى بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن يۇقىرى قاتتىقلىق
St.Cera نىڭ SiC كېرامىكا ئۇچى ئېففېكتورى S1111 تۈركۈم ماتېرىيالى ئارقىلىق يۇقىرى ساپلىقتىكى كرېمنىي كاربىدتىن (SiC مىقدارى 99.72%، ئەركىن Si 0.05%) ئىشلەپچىقىرىلىدۇ. ئۇ ئالاھىدە مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلەرگە ئىگە: ئېگىلىش كۈچى 449 MPa (ئۆلچەنگەن)، ئېلاستىكلىق مودۇلى 457 GPa (ئۆلچەنگەن) ۋە ۋىكېرس قاتتىقلىقى 25–28 GPa (ئادەتتىكى). تۆۋەن زىچلىق (ئادەتتىكى 3.10–3.15 g/cm³) يۇقىرى ئۆزگىچە قاتتىقلىق بىلەن تەمىنلەيدۇ، يۇقىرى سۈرئەتلىك ۋافېر يۆتكەش روبوتلىرى ئۈچۈن ئەڭ ماس كېلىدۇ. ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى 120–150 W/m·K (ئادەتتىكى) ۋە ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ئادەتتىكى) بىلەن، بۇ ئۇچى ئېففېكتور يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا بىر تەرەپ قىلىش جەريانىدا (1600–1700°C غىچە، يۈك يوق) ئىسسىقلىقنى ئۈنۈملۈك تارقىتىدۇ ۋە ئۆلچەملىك مۇقىملىقنى ساقلايدۇ. قارا/كۈلرەڭ رەڭ ۋە نۆل سۇ سۈمۈرۈشچانلىقى پاكىز ئۆينىڭ ماسلىشىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
تېخنىكىلىق ئۆلچەملەر(تەمىنلەنگەن SiC S1111 سىناق دوكلاتى ۋە ئادەتتىكى قىممەتلەرگە ئاساسلانغان)):
| مۈلۈك | قىممەت |
| ماتېرىيال | SiC (99.72% SiC، 0.05% ئەركىن Si) |
| رەڭ | قارا/كۈلرەڭ |
| زىچلىق | 3.10–3.15 گرام/cm³ |
| سۇ سۈمۈرۈش | 0% |
| ئېگىلىش كۈچى | 449 MPa (ئوتتۇرىچە) |
| سۇنۇش چىدامچانلىقى | 3.12 MPa·m¹/² (ئوتتۇرىچە) |
| ئېلاستىكلىق مودۇلى | 457 GPa |
| ۋىكېرس قاتتىقلىقى | 25–28 GPa |
| ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| ئەڭ يۇقىرى ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى (يۈكسىز) | 1600–1700 سېلسىيە گرادۇس |
قوللىنىشچان پروگراممىلار:
● يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش (تازىلاشتىن كېيىنكى، RTP، ئېپىتاكسىيە)
● يۇقىرى ئېروزىيەگە قارشى تۇرۇشنى تەلەپ قىلىدىغان پلازما ئويۇقلاش كامېرالىرى
● يۇقىرى سۈرئەتلىك يۆتكىلىش روبوتلىرى (يېنىك، يۇقىرى قاتتىقلىق)
ئىشلەپچىقىرىش:
SiC پاراشوك پىلاستىنكىسىنى پىششىقلاش → قول پىلاستىنكىسى ۋە ئورنىتىش ئالاھىدىلىكلىرىنى CNC ئارقىلىق ئېنىقلىق بىلەن سىلىقلاش → يۈزەكى سۈرتۈش → ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش. ۋاكۇئۇم ئىشلىتىش ئۈچۈن %100 ئۆلچەملىك تەكشۈرۈش ۋە گېلىي ئېقىش سىنىقى.
سۈپەت كونترولى:
● ئۇزۇنلۇقى، كەڭلىكى ۋە تۈزلۈكىنى CMM تەكشۈرۈشى
● ھەر بىر تۈركۈمدىكى ئېگىلىش كۈچىنى سىناق قىلىش (سىناق دوكلاتى ئۆلچىمى بويىچە)
● يۈزەكى نۇقسانلارنى مىكروسكوپ ئاستىدا كۆرۈش ئارقىلىق تەكشۈرۈش
ئاليۇمىن ياكى مېتالغا قارىغاندا ئەۋزەللىكلىرى:
● 2 ھەسسە يۇقىرى ئېلاستىكلىق مودۇلى (ئاليۇمىن ئۈچۈن 457 گە سېلىشتۇرغاندا ~380 GPa) – ئېگىلىشچانلىقى تۆۋەنرەك
● 3 ھەسسە يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى – تېز ئىسسىقلىق تارقىلىشى
● ھاۋادىكى ئاليۇمىننىڭ 800 سېلسىيە گرادۇسلۇق تېمپېراتۇرىسىغا سېلىشتۇرغاندا، 1600 سېلسىيە گرادۇستىن يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق
● پولاتقا قارىغاندا زىچلىقى تۆۋەن – ئېغىرلىقى %40 يېنىكلەيدۇ
خاسلاشتۇرۇش:
ئۇزۇنلۇقى 150–450 مىللىمېتىر، ئۇچىنىڭ شەكلى (گىرۋەك تۇتقۇچ، بېرنۇللى، ياپلاق)، ئورنىتىش فىلانسى نەقىشلىرى OEM سىزمىسىغا ئاساسەن.
*يۇقىرىدىكى بارلىق مېخانىكىلىق سانلىق مەلۇماتلار تەمىنلەنگەن سىناق دوكلاتىدىن (توپلام S1111) كەلگەن. ئىسسىقلىق ۋە قاتتىقلىق قىممەتلىرى بۇ SiC دەرىجىسى ئۈچۈن ئادەتتىكى قىممەتلەر؛ تۈركۈمگە خاس گۇۋاھنامە ئۈچۈن بىز بىلەن ئالاقىلىشىڭ.*
