يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە پلازما مۇھىتى ئۈچۈن كرېمنىي كاربىد (SiC) ئاساسلىق ۋاكۇئۇم چاك
St.Cera نىڭ SiC ئاساسلىق كېرامىك چاق يۇقىرى ساپلىقتىكى كرېمنىي كاربىدتىن ئىشلەپچىقىرىلىدۇ (پارچە S1111، SiC 99.72%، ئەركىن Si 0.05%). ئۇ ئۆلچەنگەن ئېگىلىش كۈچى 449 MPa، سۇنۇش چىدامچانلىقى 3.12 MPa·m¹/² ۋە ئېلاستىكلىق مودۇلى 457 GPa. ماتېرىيالنىڭ ئادەتتىكى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (120–150 W/m·K) ۋە تۆۋەن ئىسسىقلىق كېڭىيىشى (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكى جەريانىدا تېمپېراتۇرىنىڭ تېز ئۆرلىشى ۋە ۋاپپېرنىڭ ئېگىلىپ كېتىشىنى ئەڭ تۆۋەن چەكتە ساقلايدۇ. چاقنى تۆشۈكلۈك ۋاكۇئۇم چاق (بىر خىل گاز ئېقىمى) ياكى ئويمانلىق ئۆلچەملىك چاق قىلىپ تەڭشىگىلى بولىدۇ. ئەڭ يۇقىرى ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى 1600–1700°C (يۈكسىز) ۋە ئالاھىدە پلازما ئېروزىيەسىگە چىداملىق بولغاچقا، بۇ چاق يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ۋاپپېر بىر تەرەپ قىلىش (تاملاش، RTP) ۋە ئاليۇمىن ئوكسىد چاقلىرىنىڭ پارچىلىنىدىغان ئاكتىپ ئوراپ ئېچىش كامېرالىرىغا ماس كېلىدۇ.
تېخنىكىلىق ئۆلچەملەر(تەمىنلەنگەن SiC S1111 سىناق دوكلاتى ۋە ئادەتتىكى قىممەتلەرگە ئاساسلانغان)):
| مۈلۈك | قىممەت |
| ماتېرىيال | SiC (99.72% SiC، 0.05% ئەركىن Si) |
| زىچلىق | 3.10–3.15 گرام/cm³ |
| سۇ سۈمۈرۈش | 0% |
| ئېگىلىش كۈچى | 449 MPa |
| سۇنۇش چىدامچانلىقى | 3.12 MPa·m¹/² |
| ئېلاستىكلىق مودۇلى | 457 GPa |
| ۋىكېرس قاتتىقلىقى | 25–28 GPa |
| ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| ئەڭ يۇقىرى ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى (يۈكسىز) | 1600–1700 سېلسىيە گرادۇس |
| تۈزلۈك (300 مىللىمېتىردىن يۇقىرى) | ≤5 مىكرومېتىر |
| يۈزەكى رەڭ | Ra ≤0.4 μm (ئۈستىگە قويۇلغان) |
قوللىنىشچان پروگراممىلار:
● يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا چاقماق بىلەن تازىلاش (تاملاش، RTP، ئېپىتاكسىيال ئۆسۈش)
● يۇقىرى فتور قارشىلىقىغا ئىگە پلازما ئويۇقلاش ماشىنىسى
● نېپىز ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش ئىقتىدارى، بىردەك ئىسسىتىش/سوۋۇتۇش ئىقتىدارى
● تېگىشمەيدىغان ۋافلىنىڭ تىرەش كۈچى ئۈچۈن تۆشۈكلۈك چاك
ئىشلەپچىقىرىش:
SiC سىنتېرلاش → تۈزلۈك ۋە يۈزەكى پىروفىلىنى ئېنىق ئۇۋىلاش → خالىغانچە تۆشۈكلۈك قۇرۇلما شەكىللەندۈرۈش (ۋاكۇئۇم چاق ئۈچۈن) → لاپلاش → ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنى تازىلاش. ھەر بىر چاقنىڭ تۈزلۈكلىكى (لازېر ئارىلىقى ئۆلچەش ئەسۋابى) ۋە ۋاكۇئۇم بىردەكلىكى (ئېقىم سىنىقى) %100 تەكشۈرۈلىدۇ.
سۈپەت كونترولى:
● CMM ئۆلچەم تەكشۈرۈشى (دىئامېتىرى، قېلىنلىقى، تۆشۈك ئورنى)
● ASTM بويىچە تۈزلۈك ئۆلچەش
● گېلىي ئېقىش سىنىقى (ۋاكۇئۇم چاق ئۈچۈن)
● ھەر بىر تۈركۈمدىكى ئېگىلىش كۈچىنى تەكشۈرۈش (سىناق دوكلاتىغا قاراڭ)
ئاليۇمىن چاقلىرىغا قارىغاندا ئەۋزەللىكلىرى:
● ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى يۇقىرى (ئاليۇمىن ئۈچۈن 120–150، 32 W/m·K غا سېلىشتۇرغاندا) – ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈش سۈرئىتى 4 ھەسسە تېز
● تۆۋەن CTE (4.0 گە سېلىشتۇرغاندا 7.2×10⁻⁶/℃) – ۋافېرنىڭ ئىسسىقلىق بېسىمىنى تۆۋەنلىتىدۇ
● يۇقىرى پلازما قارشىلىقى – فلۇئورنى ئويۇشتا ئىشلىتىش ئۆمرى 10 ھەسسە ئۇزۇنراق
● ئەڭ يۇقىرى ئىشلىتىش تېمپېراتۇرىسى (ئاليۇمىن ئۈچۈن 1600°C غا سېلىشتۇرغاندا 800°C غا سېلىشتۇرغاندا)
خاسلاشتۇرۇش:
● تۆشۈكلۈك ياكى ئۆڭكۈرلۈك يۈز
● دىئامېتىرى 100–450 مىللىمېتىر، يۇمىلاق ياكى چاسا شەكىللىك
● گىرۋەك پېچەتلەش ھالقىسى ياكى رايون ۋاكۇئۇم بۆلەكلىرى
● يۇقىرى قاتتىقلىقتىكى ئورنىتىش ئۈچۈن مېتال ئارقا تەرەپ تاللىشى
يۇقىرىدىكى بارلىق مېخانىكىلىق سانلىق مەلۇماتلار تەمىنلەنگەن سىناق دوكلاتىدىن (توپلام S1111) كەلگەن. ئىسسىقلىق ۋە قاتتىقلىق قىممەتلىرى بۇ SiC دەرىجىسى ئۈچۈن ئادەتتىكى قىممەتلەر. تۆشۈكلۈك SiC چاقلىرى قوشۇمچە بىر تەرەپ قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ؛ ئېنىق تۆشۈكلۈك ۋە تۆشۈك چوڭلۇقىنىڭ بارلىقىنى سوراپ بېقىڭ.
